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半导体视觉检测系统的应用
全球半导体行业的快速发展和需求的不断增加,为半导体视觉检测设备的机器视觉进入半导体行业提供了一个适当的契机。半导体制造业是一个要求高精度、高功率、零误差的行业。由于现代加工技术的快速发展,对检测的需求越来越高,普通检测技术不能满足要求,机器视觉是集图像处理、机械工程技术、控制、电光源照明、光学成像、传感器、模拟和数字视频技术、计算机硬件和软件技术为一体的综合技术,可以满足半导体行业的检测需求,可以快速准确地执行各种检测功能,在半导体生产过程之中发挥重要作用。
一.视觉检测设备和机器视觉在半导体生产中的具体应用:
半导体制造过程可分为后、中、之后三个阶段。在这三个阶段之中,机器视觉对于视觉检测设备的每一个制造过程都至关重要。在前端和下方制造过程之中,视觉检测设备的机器视觉主要用于精确定位和检测。从下游芯片制造中的分拣和切割,到端子电路板的打印和修补,都依赖于对运动部件的高精度视觉测量来指导和定位。如果没有精确的定位,就不可能生产出硅片。下方工艺是半导体工艺之中最重要的部分,最小尺度的测量也与机器视觉有关。如今,机器视觉在制造之后流程之中得到了广泛应用。之后工序主要涉及晶圆的电测、切割、封装、测试等工序。在切割以前,必须使用机器视觉检测设备检测晶圆并标记缺陷。在对切割过程进行检测之后,需要一个机器视觉系统进行精确定位。基于机器视觉技术的预对准技术。
二.半导体测试设备和视觉检测系统在半导体行业的应用实例:
1.用于小型电子元器件、工业产品的外观检查,贴片产品的外观测试,硅片的外观测试。检测内容包括印刷错误、内容错误、图像错误、方向错误、漏印和表面缺陷。被测物体表面高速自动拍照之后,将数据传送到计算机进行处理,找出有缺陷的产品。
2.在集成电路芯片和电子连接器平面度检测中的应用。检测引脚数量和几何形状,包括间距,宽度,高度,弯曲等。实现芯片连续、高效、快速的外观检测,提高检测效率,节约人工成本,降低劳动强度,更重要的是保证检测的准确性。
3.PCB微电脑通讯接口,SIM卡插槽。SMT元件放置,表面安装,表面检测。SP焊膏检测,回流焊和波峰焊。检测和测量电缆连接器的数量。
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